3D deflectometry platform
K. Swedowicz
3D deflectometry platform fast optical scanning technique for inspection of 110 mm silicon wafers
In het kort
ISBN-13
9789044403121
Bibliografisch
ISBN-139789044403121
SerieEindverslagen Stan Ackermans Instituut — deel 2003/045
Editie1
TaalEngels eng
GeïllustreerdJa
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormHardback BB
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Experimentele natuurkunde 926
NUR (alle)926 Experimentele natuurkunde
Medewerkers
Auteur A01K. Swedowicz
Herkomst
Werk-id (NSTC)500997720
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
NSTC 500997720 · CB-relatie 8196837 · Bijgewerkt 6 augustus 2026