Active wafer clamp control of wafer heating effects in extreme ultraviolet lithography
D.P.M. van den Hurk
Active wafer clamp control of wafer heating effects in extreme ultraviolet lithography
In het kort
ISBN-13
9789038651309
Verschenen
21 oktober 2020
Bibliografisch
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Systeemanalyse en -theorie 992
NUR (alle)992 Systeemanalyse en -theorie
Medewerkers
Auteur A01D.P.M. van den Hurk
Herkomst
Werk-id (NSTC)500850939
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
Lijkt op dit boek
ArchiMate® 4 Specification - A Pocket Guide
ArchiMate® 4 Specification – A Pocket Guide
ArchiMate® 4 Specification – A Pocket Guide
Open Agile Architecture™ Standard, Version 2.0
Open Agile Architecture™ Standard, Version 2.0 - A Pocket Guide
Open Agile Architecture™ Standard, Version 2.0 - A Pocket Guide
De macht ontmaskerd
Hospital Reference Architecture Guide: The Complete and Expanded English translation of the Dutch ZiRA
Hospital Reference Architecture Guide
Hospital Reference Architecture Guide
NSTC 500850939 · CB-relatie 8180218 · Bijgewerkt 6 augustus 2026