Adaptive optics for EUV lithography phase retrieval for wavefront metrology
Alessandro Polo
Adaptive optics for EUV lithography phase retrieval for wavefront metrology
PaperbackEngels
In het kort
Bibliografisch
ISBN-139789462590618
Editie1
TaalEngels eng
GeïllustreerdNee
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Experimentele natuurkunde 926
NUR (alle)926 Experimentele natuurkunde
Medewerkers
Auteur A01Alessandro Polo
Herkomst
Werk-id (NSTC)500935932
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
Lijkt op dit boek
Gedachte-experimenten in de natuurkunde
The Elementary Process Theory
Integrated Super Resolution Fluorescence Microscopy and Transmission Electron Microscopy
The color of X-rays
Gravitation by very small C particles
Keteninformatisering in kort bestek
Handboek publieke verantwoording
CO2: een geschenk uit de hemel
NSTC 500935932 · CB-relatie 7656783 · Bijgewerkt 6 augustus 2026