Atomic layer deposition of ruthenium films
Noemie Leick-Marius
Atomic layer deposition of ruthenium films properties and surface reactions
Paperback170 pagina’sEngels
In het kort
ISBN-13
9789462950030
Uitgever
Verschenen
3 december 2014
Bibliografisch
ISBN-139789462950030
Editie1
TaalEngels eng
Pagina’s170
GeïllustreerdJa
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
Medewerkers
Auteur A01Noemie Leick-Marius
Herkomst
Werk-id (NSTC)500439227
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
Lijkt op dit boek
NSTC 500439227 · CB-relatie 9580114 · Bijgewerkt 6 augustus 2026









