Atomic layer deposition of TiN films
Hao van Bui
Atomic layer deposition of TiN films growth and electrical behavior down to sub-nanometer scale
PaperbackEngels
In het kort
ISBN-13
9789036534840
Uitgever
Verschenen
16 januari 2013
Bibliografisch
ISBN-139789036534840
Editie1
TaalEngels eng
GeïllustreerdNee
Uitgave
UitgeverUniversiteit Twente Bibliotheek
CB-relatie-id8186142
Verschenen16 januari 2013
StatusOnbekend 00
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
Medewerkers
Auteur A01Hao van Bui
Herkomst
Werk-id (NSTC)500481483
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
Lijkt op dit boek
NSTC 500481483 · CB-relatie 8186142 · Bijgewerkt 6 augustus 2026