Curvature manipulation of photomasks
Christiaan L. Valentin
Curvature manipulation of photomasks enhancing the imaging performance of immersion lithography equipment
Paperback271 pagina’sEngels
In het kort
ISBN-13
9789461861283
Uitgever
Verschenen
22 mei 2013
Bibliografisch
ISBN-139789461861283
Editie1
TaalEngels eng
Pagina’s271
GeïllustreerdJa
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
Medewerkers
Auteur A01Christiaan L. Valentin
Herkomst
Werk-id (NSTC)500489396
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
Lijkt op dit boek
NSTC 500489396 · CB-relatie 7868142 · Bijgewerkt 6 augustus 2026









