Deep anisotropic dry etching of silicon microstructures by high density plasmas
M.A. Blauw
Deep anisotropic dry etching of silicon microstructures by high density plasmas
Paperback192 pagina’sEngels
In het kort
Bibliografisch
ISBN-139789090176444
Editie1
TaalEngels eng
Pagina’s192
GeïllustreerdJa
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Natuurkunde algemeen 924
NUR (alle)924 Natuurkunde algemeen
Medewerkers
Auteur A01M.A. Blauw
Herkomst
Werk-id (NSTC)501095221
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
NSTC 501095221 · CB-relatie 9139451 · Bijgewerkt 6 augustus 2026