Design for an internal transport and storage system for silicon wafers processed in a new IC wafer fab
E.J.J. van Campen
Design for an internal transport and storage system for silicon wafers processed in a new IC wafer fab
HardbackNederlands
In het kort
ISBN-13
9789052825335
Bibliografisch
ISBN-139789052825335
Editie1
TaalNederlands dut
GeïllustreerdNee
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormHardback BB
SamenstellingLos product
Classificatie
Medewerkers
Auteur A01E.J.J. van Campen
Herkomst
Werk-id (NSTC)500998315
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
Lijkt op dit boek
NSTC 500998315 · CB-relatie 8196837 · Bijgewerkt 6 augustus 2026









