EFFICIENT EUV LIGHT PLASMA SOURCES DRIVEN BY A 2-μm-WAVELENGTH LASER
Lars Behnke
EFFICIENT EUV LIGHT PLASMA SOURCES DRIVEN BY A 2-μm-WAVELENGTH LASER
Paperback128 pagina’sEngels
In het kort
Bibliografisch
ISBN-139789464833768
Editie1
TaalEngels eng
Pagina’s128
GeïllustreerdJa
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Werktuigbouwkunde 978
NUR (alle)978 Werktuigbouwkunde
Medewerkers
Auteur A01Lars Behnke
Herkomst
Werk-id (NSTC)501560233
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
NSTC 501560233 · CB-relatie 8565969 · Bijgewerkt 6 augustus 2026