Electrostatic actuators fabricated by surface micromachining techniques
R. Legtenberg
Electrostatic actuators fabricated by surface micromachining techniques
PaperbackNederlands
In het kort
ISBN-13
9789036507967
Uitgever
Verschenen
1 juli 1996
Bibliografisch
ISBN-139789036507967
Editie1
TaalNederlands dut
GeïllustreerdJa
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
Medewerkers
Auteur A01R. Legtenberg
Herkomst
Werk-id (NSTC)500807126
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
NSTC 500807126 · CB-relatie 8186142 · Bijgewerkt 6 augustus 2026