EUV-induced Plasma, Electrostatics and Particle Contamination Control
Mark Adrianus Van de Kerkhof
EUV-induced Plasma, Electrostatics and Particle Contamination Control
Paperback171 pagina’sEngels
In het kort
ISBN-13
9789491837418
Uitgever
Verschenen
30 september 2021
Bibliografisch
ISBN-139789491837418
Editie1
TaalEngels eng
Pagina’s171
GeïllustreerdJa
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Exacte vakken en informatica algemeen 120
Medewerkers
Auteur A01Mark Adrianus Van de Kerkhof
Herkomst
Werk-id (NSTC)501481077
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
Lijkt op dit boek
NSTC 501481077 · CB-relatie 6628217 · Bijgewerkt 6 augustus 2026









