Integrated simulation in EUV source
T.P.M. Boshoven
Integrated simulation in EUV source
In het kort
ISBN-13
9789044413892
Verschenen
28 september 2015
Bibliografisch
ISBN-139789044413892
SerieEindverslagen Stan Ackermans Instituut — deel 2015/051
Editie1
TaalEngels eng
GeïllustreerdJa
Uitgave
CB-relatie-id8196837
Verschenen28 september 2015
StatusOnbekend 00
Vorm & inhoud
ProductvormE-book ED
VormdetailE107 PDF
SamenstellingLos product
Beveiliging e-bookAdobe DRM 03
Classificatie
NUR (hoofd)Informatica algemeen 980
NUR (alle)980 Informatica algemeen
Medewerkers
Auteur A01T.P.M. Boshoven
Herkomst
Werk-id (NSTC)500436459
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
NSTC 500436459 · CB-relatie 8196837 · Bijgewerkt 6 augustus 2026