MEMS integration techniques on silicon-on-insulator for inertial devices
Vijayekuma Rajaraman
MEMS integration techniques on silicon-on-insulator for inertial devices
PaperbackEngels
In het kort
Bibliografisch
ISBN-139789461913166
Editie1
TaalEngels eng
GeïllustreerdJa
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Werktuigbouwkunde 978
NUR (alle)978 Werktuigbouwkunde
Medewerkers
Auteur A01Vijayekuma Rajaraman
Herkomst
Werk-id (NSTC)500502084
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
NSTC 500502084 · CB-relatie 7656783 · Bijgewerkt 6 augustus 2026