Metrology data modeling and data handling
M. Lukic
Metrology data modeling and data handling capturing a domain model of ASML metrology in a software framework
In het kort
ISBN-13
9789044412116
Verschenen
2 september 2013
Bibliografisch
ISBN-139789044412116
SerieEindverslagen Stan Ackermans Instituut — deel 2013/029
Editie1
TaalEngels eng
GeïllustreerdJa
Uitgave
CB-relatie-id8196837
Verschenen2 september 2013
StatusOnbekend 00
Vorm & inhoud
ProductvormE-book ED
VormdetailE107 PDF
SamenstellingLos product
Beveiliging e-bookAdobe DRM 03
Classificatie
NUR (hoofd)Informatica algemeen 980
NUR (alle)980 Informatica algemeen
Medewerkers
Auteur A01M. Lukic
Herkomst
Werk-id (NSTC)500473734
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
NSTC 500473734 · CB-relatie 8196837 · Bijgewerkt 6 augustus 2026