Micromachined capacitive long-range displacement sensor for nano-positioning of microactuater systems
A.A. Kuijpers
Micromachined capacitive long-range displacement sensor for nano-positioning of microactuater systems
Hardback200 pagina’sNederlands
In het kort
ISBN-13
9789036521192
Uitgever
Bibliografisch
ISBN-139789036521192
Editie1
TaalNederlands dut
Pagina’s200
GeïllustreerdJa
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormHardback BB
SamenstellingLos product
Classificatie
Medewerkers
Auteur A01A.A. Kuijpers
Herkomst
Werk-id (NSTC)500850496
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
NSTC 500850496 · CB-relatie 8186142 · Bijgewerkt 6 augustus 2026