Modeling and prediction of thermally induced imaging errors in deep- and extreme-ultraviolet lithography
C. Bikcora
Modeling and prediction of thermally induced imaging errors in deep- and extreme-ultraviolet lithography
In het kort
ISBN-13
9789038635156
Verschenen
16 december 2013
Bibliografisch
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Elektrotechniek 959
NUR (alle)959 Elektrotechniek
Medewerkers
Auteur A01C. Bikcora
Herkomst
Werk-id (NSTC)500460288
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
Lijkt op dit boek
Integration of novel polarization handling devices on the generic InP platform
Panelenbouw is een vak apart
2 Luchtbehandeling
Zakboek Elektrotechniek
Handboek Explosieveiligheid
Handbook Explosion Safety
Handbuch Explosionsschutz
Industriële automatiseringstechnieken
Silicon Sensors and Actuators
Inspectie van elektrische installaties
NSTC 500460288 · CB-relatie 8180218 · Bijgewerkt 6 augustus 2026