Modelling and experimental evaluation of (post) lithography process contributions to pattern roughness
Alessandro Vaglio Pret
Modelling and experimental evaluation of (post) lithography process contributions to pattern roughness
Paperback202 pagina’sEngels
In het kort
ISBN-13
9789460185526
Verschenen
7 september 2012
Bibliografisch
ISBN-139789460185526
Editie1
TaalEngels eng
Pagina’s202
GeïllustreerdJa
Uitgave
CB-relatie-id8109288
Verschenen7 september 2012
StatusOnbekend 00
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Elektrotechniek 959
NUR (alle)959 Elektrotechniek
Medewerkers
Auteur A01Alessandro Vaglio Pret
Herkomst
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
CB-relatie 8109288 · Bijgewerkt 6 augustus 2026