Next-generation extreme ultraviolet lithographic projection systems
M.F. Bal
Next-generation extreme ultraviolet lithographic projection systems
Paperback140 pagina’sNederlands
In het kort
Bibliografisch
ISBN-139789090165301
Editie1
TaalNederlands dut
Pagina’s140
GeïllustreerdJa
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Technische wetenschappen algemeen 950
NUR (alle)950 Technische wetenschappen algemeen
Medewerkers
Auteur A01M.F. Bal
Herkomst
Werk-id (NSTC)501272192
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
NSTC 501272192 · CB-relatie 9031395 · Bijgewerkt 6 augustus 2026