Optimisation of Coherent Fourier Scatterometry for Side Wall Angle Estimation of Printed Structures
Luca Cisotto
Optimisation of Coherent Fourier Scatterometry for Side Wall Angle Estimation of Printed Structures
PaperbackEngels
In het kort
ISBN-13
9789402811711
Uitgever
Verschenen
20 november 2018
Bibliografisch
ISBN-139789402811711
Editie1
TaalEngels eng
GeïllustreerdNee
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Experimentele natuurkunde 926
NUR (alle)926 Experimentele natuurkunde
Medewerkers
Auteur A01Luca Cisotto
Herkomst
Werk-id (NSTC)500350264
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
Lijkt op dit boek
Gedachte-experimenten in de natuurkunde
The Elementary Process Theory
Integrated Super Resolution Fluorescence Microscopy and Transmission Electron Microscopy
The color of X-rays
Gravitation by very small C particles
Keteninformatisering in kort bestek
Handboek publieke verantwoording
CO2: een geschenk uit de hemel
NSTC 500350264 · CB-relatie 7656783 · Bijgewerkt 6 augustus 2026