PECVD sillicon carbide
T.V. Pham
PECVD sillicon carbide a structural material for surface micromachined devices
Paperback168 pagina’sEngels
In het kort
Bibliografisch
ISBN-139789090188560
Editie1
TaalEngels eng
Pagina’s168
GeïllustreerdNee
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Scheikunde algemeen 913
NUR (alle)913 Scheikunde algemeen
Medewerkers
Auteur A01T.V. Pham
Herkomst
Werk-id (NSTC)501095437
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
NSTC 501095437 · CB-relatie 9148354 · Bijgewerkt 6 augustus 2026