Plasma etching for integrated silicon sensor applications
Y.X. Li
Plasma etching for integrated silicon sensor applications
PaperbackNederlands
In het kort
ISBN-13
9789040711770
Uitgever
Verschenen
1 juli 1995
Bibliografisch
ISBN-139789040711770
Editie1
TaalNederlands dut
GeïllustreerdJa
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Technische wetenschappen algemeen 950
NUR (alle)950 Technische wetenschappen algemeen
Medewerkers
Auteur A01Y.X. Li
Herkomst
Werk-id (NSTC)500818616
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
NSTC 500818616 · CB-relatie 7700259 · Bijgewerkt 6 augustus 2026