Poly-silicon germanium thin-film package
Gert Claes
Poly-silicon germanium thin-film package study of structural features enabling CMOS-MEMS integration
Paperback170 pagina’sEngels
In het kort
ISBN-13
9789460183805
Verschenen
4 juli 2011
Bibliografisch
ISBN-139789460183805
Editie1
TaalEngels eng
Pagina’s170
GeïllustreerdNee
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Materiaalkunde 971
NUR (alle)971 Materiaalkunde
Medewerkers
Auteur A01Gert Claes
Herkomst
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
CB-relatie 8109288 · Bijgewerkt 6 augustus 2026