Power Electronics for Plasma Processing
Qihao Yu
Power Electronics for Plasma Processing Enabling energy-efficient and accurate ion energy control for semiconductor manufacturing
In het kort
ISBN-13
9789038658186
Verschenen
13 september 2023
Bibliografisch
Uitgave
CB-relatie-id8180218
Verschenen13 september 2023
StatusOnbekend 00
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Elektrotechniek 959
NUR (alle)959 Elektrotechniek
Medewerkers
Auteur A01Qihao Yu
Herkomst
Werk-id (NSTC)501558745
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
NSTC 501558745 · CB-relatie 8180218 · Bijgewerkt 6 augustus 2026