Quantum noise effects in e-beam lithography and metrology
Thomas Verduin
Quantum noise effects in e-beam lithography and metrology
Paperback217 pagina’sEngels
In het kort
ISBN-13
9789461867827
Uitgever
Verschenen
18 januari 2017
Imprint
Bibliografisch
ISBN-139789461867827
Editie1
TaalEngels eng
Pagina’s217
GeïllustreerdJa
Uitgave
UitgeverTU Delft Library
ImprintTU Delft Library
CB-relatie-id7868142
Verschenen18 januari 2017
StatusOnbekend 00
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
Medewerkers
Auteur A01Thomas Verduin
Herkomst
Werk-id (NSTC)500390017
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
Lijkt op dit boek
NSTC 500390017 · CB-relatie 7868142 · Bijgewerkt 6 augustus 2026