Radiation generated plasmas
M.H.L. van der Velden
Radiation generated plasmas a challenge in modern lithography
In het kort
ISBN-13
9789038612584
Verschenen
14 mei 2008
Bibliografisch
ISBN-139789038612584
Editie1
TaalEngels eng
Pagina’s187
GeïllustreerdJa
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Computationele natuurkunde 928
NUR (alle)928 Computationele natuurkunde
Medewerkers
Auteur A01M.H.L. van der Velden
Herkomst
Werk-id (NSTC)500624764
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
Lijkt op dit boek
NSTC 500624764 · CB-relatie 8180218 · Bijgewerkt 6 augustus 2026

