Sub-wavelength metrology using coherent fourier scatterometry
Roy Sarathi
Sub-wavelength metrology using coherent fourier scatterometry
PaperbackEngels
In het kort
ISBN-13
9789461866134
Uitgever
Verschenen
21 maart 2016
Imprint
Bibliografisch
ISBN-139789461866134
Editie1
TaalEngels eng
GeïllustreerdJa
Uitgave
UitgeverTU Delft Library
ImprintTU Delft Library
CB-relatie-id7868142
Verschenen21 maart 2016
StatusOnbekend 00
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
Medewerkers
Auteur A01Roy Sarathi
Herkomst
Werk-id (NSTC)500412435
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
Lijkt op dit boek
NSTC 500412435 · CB-relatie 7868142 · Bijgewerkt 6 augustus 2026