Thermally induced diffusion phenomena and compound interlayer structural changes in EUV multilayers
S.L. Nyabero
Thermally induced diffusion phenomena and compound interlayer structural changes in EUV multilayers
PaperbackEngels
In het kort
Bibliografisch
ISBN-139789462590700
Editie1
TaalEngels eng
GeïllustreerdNee
Uitgave
Vorm & inhoud
ProductvormPaperback BC
SamenstellingLos product
Classificatie
NUR (hoofd)Experimentele natuurkunde 926
NUR (alle)926 Experimentele natuurkunde
Medewerkers
Auteur A01S.L. Nyabero
Herkomst
Werk-id (NSTC)500935941
MeldingBevestigd bij publicatie 03
Bijgewerkt6 augustus 2026
NSTC 500935941 · CB-relatie 7656783 · Bijgewerkt 6 augustus 2026